Glavne lastnosti:

1. Ta stroj je primeren za natančno brušenje in poliranje polprevodniških materialov z visoko trdoto in visokimi zahtevami glede natančnosti obdelave. Posebej primeren je za obdelavo tankih delov. Polirni pritisk je enakomeren in ga ni enostavno drobiti.

2. Notranjost obdelovalnega stroja je obdelana s teflonom DuPont proti koroziji, da se zagotovi življenjska doba delov.

3. Spodnja plošča je podprta z napredno oljno plavajočo hidrostatično platformo, ki zagotavlja togost podpore in natančnost vrtenja spodnje plošče.

4. Zgornjo ploščo vleče sistem za uravnoteženje jeklene žice, ki lahko samodejno prilagodi nivo zgornje plošče.

5. Zunanji obročni zobnik se dviga in spušča s pritiskom olja, medtem ko spodnja plošča ostane pritrjena, kar omogoča spodnji plošči večjo natančnost in stabilnost.

6. Stroj je opremljen z avtomatsko spletno merilno napravo, s katero je mogoče doseči natančen nadzor debeline brušenja in velikosti obdelovanca.